在半導體和FPD制造/檢查設備中，如何實現曝光機、涂布機、點膠機、晶片檢查設備等的超精密動作？

智能設備制造時，如何控制特殊機械機構，例如具有機器人機構的設備？

加工機/沖壓機設備，如何實現放電加工機、噴流加工機、激光加工機、磨床、精密沖壓機等的高速超高精度加工？

如果您正面臨這些課題，為設備性能而苦惱，選擇歐姆龍可編程運動控制器CK3M/CK5M系列，即可輕松解決運動控制課題。

精密加工                  半導體和FPD制造/檢查              智能產品3D加工

CK3M/CK5M系列4大特點

解決運動控制的課題

CK3M/CK5M系列兼容Rapid、Flexible、Capable、Easy這4大特點平衡速度和精度，出色的運動控制能力，有助于充分發揮設備的性能。

*Rapid-高速控制周期實現更高精度的加工

通過控制周期25μs/5軸*1這種超高速伺服周期運算，實現高精度的指令運算和高精度的指令追蹤，使客戶的設備達到更高精度。

*1.僅電機控制的情況。2022年11月本公司調查結果

*Flexible-支持多供應商實現理想設備構成

支持不同接口

不同控制模式，實現理想設備構成

*Capable-高自由度的開發實現各種各樣的應用

使用多種編程語言，實現各種各樣的應用

開放的軟件結構，實現各種各樣的應用

*Easy-系統整合實現設備設計工時的削減

無需聯鎖，減少設計工時

整合工具，輕松設置

系統結構示例