刻蝕機作為芯片制造三大主設備之一，是我國打破壟斷、尋求“芯”突破的拳頭產品。刻蝕技術為硅片上做“微雕”，因此對設備的精密性、穩定性要求極高，其關鍵難點在于保證晶圓表面的刻蝕一致性，而這很大程度上取決于刻蝕氣體的饋入方式。噴淋盤則是刻蝕機饋入刻蝕氣體的主要部件。

一個直徑近半米的噴淋盤上，均勻地分布著幾千個細小的圓孔，反應氣體正是通過這些小孔進入反應腔體，在射頻作用下形成均勻分布的等離子體。為了保證化學氣體均勻地進入反應腔體，噴淋盤表面每一個圓孔的直徑、內壁都要經得起檢驗。

噴淋盤

如此超高精度及數量眾多的孔徑需要快速完成檢測，沒有硬核的技術方案，是萬萬不能的。海克斯康依靠自身過硬技術，開發出極具針對性的產品輕松應對該難題，確保客戶產品高質量交付，以下為詳細檢測方案：

檢測要求

噴淋盤幾千個小孔（不同客戶產品設計不同）直徑、位置度、圓度等特征尺寸測量；

需要批量檢測，要求測量重復性高，測量節拍快。

檢測難點

噴淋盤表面小孔數量多達幾千，軟件需要處理幾千個數據，對軟件運算能力有較高要求；

程序編寫難度大，步驟繁瑣。

解決方案

配置OPTIV Advance 8.6.2+ METUS，滿足平面幾何尺寸快速測量；

自動變焦鏡頭提供足夠的光學放大倍率，小孔細節輕松展示；

同軸光、輪廓光、6環8區表面環形光，多種光源配合，同時滿足圓柱通孔，錐形孔上下端面圓檢測要求；

METUS軟件強大的運算能力保證編程、測量、數據輸出過程不卡頓；

速度模式、報表輸出與測量并行功能，助力測量效率提升50%；

導入DXF圖紙編程，批量導入測量要素，編程簡單高效；

報表摘要功能，結合二次編輯圖片功能，快速定位、復測；

報告多樣化，可輸出Excel、CSV、TXT或按用戶需求定制。

導入DXF圖檔，在模型窗口快速編程

CAD圖形：直觀顯示小孔測量要素

OPTIV ADVANCE 8.6.2

海克斯康憑借創新的軟硬件技術，保證噴淋盤等大尺寸、大數據量的工件批量測量從理論走向實際，方案已成功應用到多家噴淋盤廠商，后續海克斯康將持續在半導體行業發力，為客戶提供優質可靠的解決方案。