隨著半導體行業的不斷發展,制造商面臨著提高生產效率和降低成本的挑戰。天車搬運系統(OHT)是半導體制造廠中一種重要的自動搬運系統,通過提高物料運輸效率,降低人力成本和減少污染風險,改善整體生產流程。
那有關天車搬運系統(OHT)大家了解多少呢?
“OHT”是 Overhead Hoist Transfer 的縮寫。主要的搬運移載部件為:晶圓加載機 (LPU, Load-Port Unit) 以及前開式晶圓傳送盒 (FOUP , Front Open Unified Pod),而整個OHT搬運系統的組成部分示意為如圖:
而在這樣高效而復雜的自動化設備上,作為傳感器專家的勞易測,又有哪些獨到的產品可以發揮作用呢。
BPS 8條碼定位系統
助力OHT設備定位
工作距離60~120 mm,緊湊型的設計,僅60mm的盲區,特別適用于緊湊型設備;
定位范圍0~10,000,000mm,配合高質量的BCB條碼帶可充分滿足行走距離要求;
兼容設備4m/s的移動速度,充分契合OHT設備3m/s的大速度需求;
5VDC/24VDC(適用MA8適配模塊)多種電壓范圍適合不同電子設備供電要求;
RS232/RS485及Modbus數據輸出方式,給您提供更多數據選擇;
BCB 條碼帶有標準25mm高度和47mm高度可選,提供定制高度及長度的服務。
CR 100經濟型固定條碼閱讀器
配合單體條碼附件,可實現OHT小車經濟型定位和換速信號獲取
工作距離15~67 mm,小巧的設計特別適用于緊湊型設備;
700Hz的掃描頻率,配合單體條碼附件滿足高速運行設備要求;
5VDC供電要求,更貼PCB控制板電路設計;
RS232數據輸出方式,適合單機設備使用。
PRK 3C系列傳感器
穩定檢測,分毫不差
在通用OHT小車上,需要有穩定檢測FOUP存在狀態的光電傳感器。PRK 3C高性能光電傳感器,實現穩定檢測的同時,保證快速響應的需求,以及條碼閱讀產品的高速觸發。
帶偏振光鏡片的鏡反射光電傳感器,保證檢測穩定性;
PRK3C.A3同軸光式傳感器,“0”盲區,即使和反射板貼得再近也有效;
1500Hz掃描頻率,高速運動設備的;
IO-Link的調整功能,可以使參數設定一致性更佳,智能化一步。
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