隨著半導體產線生產工藝流程越來越復雜，產線設備間的傳統物料搬運方式，已經成為制約生產效率和生產質量的瓶頸。為此，AMHS自動物料搬運系統應運而生，在半導體晶圓制造環節的應用開始逐漸普及。

AMHS系統的特點與應用價值主要體現在：高可靠性、高自動化與信息化、高效率、高度靈活性與可擴展性。格創東智認為，隨著半導體技術的持續演進，晶圓的尺寸不斷增大，使得半導體工廠對于自動化和信息化技術要求越來越高。因此從中長期來看，新建的半導體工廠會將AMHS作為“必選項”，對AMHS的需求主要體現在高度自動化、智能化、信息化，具備高可靠性和高安全性，同時具備一定的靈活性和可擴展性，以減少對人的依賴，提高整個生產機臺的使用率和庫存周轉率。

以OHT系統為核心的潔凈室AMHS整體解決方案，其大優勢在于效率非常高，并且主要布局都在空中，不會占用地面。因為無塵車間可謂“寸土寸金”，OHT系統的應用可以釋放更多的空間布局，用于增加機臺設備擴充產能。但在某些工藝段，比如需要干濕工藝，或者兼具高柔性、高精度的場景應用需求等，未必適合使用天車，需要考慮AGV等設備的組合應用。

同時，值得關注的還有智能調度系統，這也是目前國內AMHS廠商著力開拓的領域。對于AMHS而言，如何實現調度系統和MCS（物料控制系統）快速響應生產的波峰和波谷，契合生產工藝的調整，是AMHS廠商未來需要著力突破的重點。

另外，還可以結合數據化和信息化做進一步蔓延。目前越來越多的業主方十分重視對生產數據的挖掘和分析，目的是了解生產過程的每一個環節，發現潛在問題并提出改進措施。這項工作對于AMHS而言同樣會帶來很大價值。比如，可以通過分析物料搬運的節拍、周轉情況和機臺使用率等，優化工藝布局、設備配置及調度策略。

格創東智AMHS應用創新

穩定性和高效性是AMHS系統性能的重要指標。針對這兩項指標，格創東智將自身在預防性維護和能源消耗管理方面的既有優勢引入AMHS解決方案中。

1、設備故障偵測與分類系統（FDC）

實時收集設備生產過程中的狀態數據以及工藝參數，通過監控模型實現對生產過程的失效模式的偵測和智能分析。該應用可以對AMHS進行預防和預測性維護，利用物聯網技術和AMHS收集物料轉移信息做出判定。通過AI建設模型，幫助使用方運維團隊減少停線，增強物流線體和自動化產線的魯棒性，幫助半導體工廠提高生產設備的效率和可靠性，實現良率、效率、成本的發展目標。

2、智慧能源管理系統（EMS）

半導體工廠是高能耗行業之一，能耗主要來自制造設備和通風空調系統。我們基于對歷史數據的分析，發現其中存在一定的冗余空間。比如半導體工廠的潔凈車間需要保持一定濕度和溫度，但通風空調設備的開啟和停止控制其實有很大的空間值得挖掘。AMHS中的設備應用也是如此，我們可以將整個物料信息化和所有機臺設備信息化系統打通，結合AI算法為客戶提供何時開/關的優能源管理，幫助其減少能源消耗和碳排放，進而實現節能減排降耗增效的生產發展效果。