我國半導體設備領域長期受國外技術封鎖與壟斷，加快自主研發勢在必行。諸多國內半導體設備廠商強勢崛起，如某集成電路與真空儀器設備廠商，秉持 “引領真空技術，支撐科技創新，促進產業發展” 使命，為關鍵設備國產化貢獻卓著。

項目挑戰

該客戶研制的 PVD 鍍膜設備，系半導體工藝國產化重要成果。為把控蒸發或濺射的溫度、壓力、時間等工藝參數，客戶需將設備的傳感器、控制器、繼電器、電源等電氣自動化元件相聯接，以實現電力、信號與數據傳輸。針對關鍵電氣聯接部位的重載接插件，該客戶著重考量的因素涵蓋：

如何滿足設備運行環境的要求

（1）PVD鍍膜過程中產生的化學氣體或蒸氣往往對電氣材料產生腐蝕；

（2）在一些特定的鍍膜工藝中，可能會產生高溫和高壓。

如何提高機械性能穩定性

PVD設備運行過程中，連接器需要頻繁承受影響穩定性的機械應力，如振動、沖擊、插拔等。

如何適應機柜設計，快速完成效果測試

如何根據電氣柜空間設計要求采用合適的重載聯接技術，并通過不同的連接器出線方式快速滿足設備測試要求，是客戶的又一困擾所在。

該客戶需要匹配的重載接插件解決方案以解決上述電氣柜聯接項目遇到的挑戰，并滿足半導體終端客戶對PVD鍍膜設備的高標準要求。經過多方考量，終找到了經驗豐富的電聯接專家——魏德米勒。

解決方案

考慮到上述要求，魏德米勒憑借的技術能力和快速的服務能力，為客戶的PVD真空鍍膜設備項目提供了一套適用的重載接插件解決方案。

高防護設計

（1）采用壓鑄鋁制成，其 IP65 / NEMA型 4X 外殼，防塵、防潮、防腐蝕；

（2）可在-40°C至+125°C的寬溫度范圍工作；

（3）防電磁干擾，可安全傳輸高達35A的電流以及高達830V的電壓。

抗機械壓力性能

（1）清晰的聯鎖系統采用不銹鋼制成，通過獨有的專利保護的彈簧系統為接插件外殼聯鎖提供緊密接合，防止意外打開；

（2）堅固的機械結構能夠承受設備振動、沖擊和機械應力。

快速溝通響應和效果測試

魏德米勒與客戶進行了深入詳細的溝通，根據客戶電氣柜設計的特殊要求，為分源端和目標端的兩路重載都提供了頂出和側出兩種出線方案，并迅速進行了實際效果測試。

客戶的益處

采用魏德米勒的重載接插件解決方案后，該客戶的PVD真空鍍膜設備研制項目得以順利實施，并獲得了一系列重要收益：

終端客戶使用更為放心

通過高防護設計的重載接插件解決方案，該客戶大大提升了設備運行的安全可靠性，為其終端客戶提供了腐蝕、高溫等工藝環境下的安心之選。

提升設備性能和競爭力

基于魏德米勒重載接插件解決方案出色的機械性能，PVD真空鍍膜設備的電氣自動化系統獲得了更加穩定可靠的聯接能力，為解決半導體設備國產化進程中的卡脖子問題貢獻一己之力。

快速完成選型、調試和交付

基于魏德米勒的咨詢和定制方案服務能力，大大簡化了前期咨詢和選型過程，快速找到符合客戶電氣柜設計需求的聯接方案。在交期緊張的情況下，僅用1周就完成了效果測試。

終效果

隨著半導體國產化進程加快，對關鍵半導體設備的要求也越來越高，魏德米勒憑借強大的本地化定制服務能力，持續為客戶提供設備的電氣聯接項目保駕護航，為關鍵國產化設備的崛起提供助力。