觸摸屏 1734-OB8S 模塊 一體式安裝
| 更新時間 2025-01-08 13:30:00 價格 888元 / 件 品牌 A-B 型號 1734-OB8S 產地 美國 聯系電話 0592-6372630 聯系手機 18030129916 聯系人 蘭順長 立即詢價 |
觸摸屏 1734-OB8S 模塊 一體式安裝
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隨著全球能源行業重點從化石能源向可再生能源轉移,光伏行業逐漸成為我國能源供應體系的重要分支,相關的光伏檢測設備需求量急劇增加。
由于工藝要求不斷提升,設備上搭載的傳統2D視覺檢測系統難以滿足一些特定檢測需求,例如光伏產業鏈上游的硅棒直徑檢測,中游的硅片位置度(搭邊)檢測、分選機應用等。那么如何利用海康機器人3D激光輪廓傳感器實現硅片位置度(搭邊)檢測?
半導體硅片生產工藝
什么是“搭邊”
硅片在PECVD和PVD工藝段中,需要放置到載具中進行上下料,載具尺寸與硅片尺寸需剛好適配,若硅片位置發生偏移,則會出現邊角部位遮蓋在載具邊緣的情況,即為“搭邊”,如果發生“搭邊”情況,在后續鍍膜時會導致硅片繞鍍或破裂。為規避該風險,在PECVD和PVD鍍膜上下料時需要對“搭邊”硅片進行檢出。
項目 視覺系統精度要求 0.1mm
需求 流水線速度要求 200mm/s
■ 項目難點
- 硅片高反光材質和載具漫反射材質共存,相機動態范圍要求高
- 載具多次過爐后會出現顏色變化,視覺需兼容被測物顏色變化
- 載具尺寸大且存在變形,硅片與載具成像對比度不明顯
- 載具移動速度快,相機幀率要求高
■ 硬件選型
■ 單相機視場范圍示意
硬件架設方案
■ 方案一
來料方式:210mm*105mm硅片,橫向排列9個,豎向排列16個
架設方案:4臺相機水平視野覆蓋整個載具
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